Vakuum-, Halbleiter- & Magnettechnologie

Vakuum-, Halbleiter- & Magnettechnologie

Die BOA Group ist Spezialist für Metallschläuche, -bälge und komplette Baugruppen in Vakuumsystemen, Halbleiterproduktionsprozessen und Magnettechnologie (Magnetresonanzanwendungen). 

Schlauch- und Balg-Technologie von BOA für höchste Reinheitsanforderungen 

Die Anwendungen unserer Produkte in Vakuumsystemen, Halbleiterindustrie oder in der Magnettechnologie setzen hohe Ansprüche an die Sauberkeit und das Fertigen der Teile. 

Viele Prozesse in Industrie- und OEM-Anwendungen arbeiten mit Vakuum oder sogar komplett im Vakuum.

BOA entwickelt und konstruiert sowohl Standardprodukte als auch kundenspezifische flexible Komponenten und Systeme für Hochvakuum- und Tieftemperatur-Anwendungen.

Für die Spezifikation in der Vakuum- und Halbleiterindustrie bietet die BOA Group drei Reinräume (ISO-Klassen 5, 6 und 7 nach der ISO-Norm 14644-1), die verschiedene Arten von Reinigungsprozessen nutzen, zum Beispiel:

  • Ultraschallreinigung mit alkalischem Reinigungsmittel
  • Vorspülen mit destilliertem Wasser
  • Spülen mit destilliertem Wasser
    Die Leitfähigkeit des Wassers wird ständig gemessen und bestimmt den Zeitpunkt des Wasseraustausches.
  • Trocknen in einem Stickstoffofen

BOA bietet verschiedene Reinigungsmethoden, spezielle Verpackung und natürlich umfangreiche Testeinrichtungen.

Produktanwendungen

BOA Group Metallschläuche
  • Metall-Wellschläuche für Vakuumanwendungen
  • Metallbälge als Dichtung oder Leiter
  • Schläuche im Bereich von Lithographie-Prozessen
  • Metallbälge und Metall-Wellschläuche für Ultra-Hochvakuum-Anwendungen
  • Metallbälge für Kernspintomographen

Vakuumverbinder

ISO-KF-Verbindung

Diese flexiblen Verbinder mit Durchmessern von DN 10 bis DN 50 erfüllen die höchsten Qualitätsanforderungen der Vakuumindustrie vom Grob- bis Ultrahochvakuumbereich. Sie sind so ausgelegt, dass nur kleinste Belastungen auf die Endverbinder übertragen werden. Dennoch halten sie die Stabilität aufrecht, wenn sie unter Druck gesetzt werden. Ausgestattet mit ISO-KF-Flanschen bieten diese flexiblen Anschlüsse eine schnelle und wirtschaftliche Lösung. Bis 150 mm bestehen flexible Elemente aus BOA-Instrumentenbälgen; darüber hinaus werden parallel gewellte BOA-Metallschläuche genutzt. Beide Ausführungen wurden entworfen um axiale, laterale und angulare Bewegungen zu kompensieren und Schwingungen aufzunehmen.

ISO-K Vakuumverbindung

ISO-K-Verbindung 

ISO-K-Verbindungen (DN 63 bis DN 320) entsprechen den höchsten Anforderungen der Vakuumindustrie vom Grob- bis Ultrahochvakuumbereich (nach DIN 28404). Vor allem der patentierte ISO-K-LEC Verbinder, welcher schnell und einfach gereinigt werden kann, bietet in der Vakuumtechnologie, der Chemie-, Pharma- und Lebensmittelindustrie (antiseptisch) einen wesentlichen Vorteil. Die spaltfreie Verbindung auf der Trägerseite vermeidet die Bildung von Spaltkorrosion und erfüllt höchste Anforderungen an Hygiene, Sauberkeit und Lebensdauer.

CF-Vakuumverbindung

CF-Verbindung 

Mit CF-Flanschen nach ISO 3669 (Pneurop 6606) verbunden, eine Seite befestigt, die andere Seite drehbar, bieten diese flexiblen Verbinder eine schnelle und wirtschaftliche Lösung. Die kürzeren Verbinder werden mit BOA-Instrumentenbälgen, die längeren mit parallelgewellten BOA-Schläuchen ausgerüstet. Beide Ausführungen wurden entwickelt um axiale, laterale und angulare Bewegungen aufzunehmen und Schwingungen abzufangen.

Vakuumventil

Vakuumbälge für Spindeldichtungen

Die Eckventile sind balggedichtet und wurden für Hochvakuumanwendungen in Pumpsystemen und Halbleitertechnologien entwickelt. Bälge von BOA bilden einen der Kernbestandteile und garantieren eine hohe Lebensdauer.

Hochreine Ventile

BOA-Bälge sind für eine lange Lebensdauer entwickelt und werden aus Edelstahl oder Inconel-Material gefertigt. 

Die hochreinen Kontrollventile in Gassystemen werden in der Regel für kritische Hochleistungsanwendungen genutzt, die hohe Durchflussraten, Dichtheit und Reinheit erfordern.

Spiral Vakuumpumpe

Bälge für Vakuumpumpen, die unter hoher Lastwechselzahl operieren. 

Die Pumpe besteht im Wesentlichen aus einer feststehenden und einer beweglichen Spirale. Während der Drehbewegung greifen die Spiralen ineinander und bilden sichelförmige Gasräume. Dabei wird durch die exzentrisch kreisende Spirale das Gas kontinuierlich komprimiert und zum Zentrum der Spiralen gefördert, wo sich der Gasaustritt bei geringem Enddruck befindet. Es wird ein Vakuum erzeugt.

Magnettechnologie

Kernresonanztomographie

Dünnwandige Rohre und Bälge als Dichtungselemente oder Ausgleichssysteme für thermische Spannung in mit Helium gekühlten Magneten. Die Magnetwindungen sind vom flüssigen Helium umgeben und dürfen so gut wie keinen ohmschen Widerstand aufweisen. Einige supraleitende Hochfeldmagnete sind in Kernspintomographen (MRT-Anwendungen) integriert.

Hybridschläuche für das Kühlen in Vakuumumgebung

Querschnitt eines Hybridschlauchs
Querschnitt eines Hybridschlauchs

Der Hybrid-Schlauch für Kühlmittel besteht aus einem äußeren Metallschlauch und einem inneren PTFE-Schlauch. Dieses Design ermöglicht eine vollständige Entleerung des Kühlmittels vor dem Abtrennen des Schlauches.

Der Metallschlauch vermeidet das Ausgasen von PTFE unter Vakuumbedingungen.

Wie können wir helfen?

Die BOA Group bietet ihren Kunden Standardprodukte und speziell entwickelte flexible Elemente. Um von unseren Vorteilen zu profitieren, kontaktieren Sie unsere Spezialisten:

vacuum.industrial@boagroup.com

Daten & Downloads

Produkte für Vakuum-, Halbleiter- & Magnettechnologie

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